真空热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，有时只有加热和冷却两个过程。这些过程互相衔接，不可间断。

　　加热是真空热处理的重要工序之一。金属真空热处理的加热办法许多，是选用木炭和煤作为热源，然后应用液体和气体燃料。电的应用使加热易于控制，且无环境污染。使用这些热源能够直接加热，也能够经过熔融的盐或金属，以至起浮粒子进行间接加热。

　　金属加热时，工件暴露在空气中，常常发作氧化、脱碳(即钢铁零件表面碳含量下降)，这对于真空热处理后零件的表面性能有很晦气的影响。因此金属一般应在可控气氛或维护气氛中、熔融盐中和真空中加热，也可用涂料或包装办法进行维护加热。

　　高真空烧结炉加热温度是真空热处理工艺的重要工艺参数之一，挑选和控制加热温度,是确保真空热处理质量的首要问题。加热温度随被处理的金属材料和真空热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温安排。别的转变需要必定的时刻，因此当金属工件表面达到要求的加热温度时，还须在此温度坚持必定时刻，使内外温度共同，使显微安排转变彻底，这段时刻称为保温时刻。选用高能密度加热和表面真空热处理时，加热速度极快，一般就没有保温时刻，而化学真空热处理的保温时刻往往较长。

　　冷却也是真空热处理工艺过程中不可短少的过程，冷却办法因工艺不同而不同，首要是控制冷却速度。一般退火的冷却速度慢，正火的冷却速度较快，淬火的冷却速度更快。但还因钢种不同而有不同的要求，例如空硬钢就能够用正火一样的冷却速度进行淬硬。

　　金属真空热处理工艺大体可分为全体真空热处理、表面真空热处理和化学真空热处理三大类。依据加热介质、加热温度和冷却办法的不同，每一大类又可区分为若干不同的真空热处理工艺。同一种金属选用不同的真空热处理工艺，可获得不同的安排，然后具有不同的性能。钢铁是工业上应用广泛的金属，而且钢铁显微安排也杂乱，因此钢铁真空热处理工艺品种繁复。

　　1、加热

　　加热是真空热处理的重要工序之一。金属真空热处理的加热方法很多，早期是采用木炭和煤作为热源，近而应用液体和气体燃料。电的应用使加热易于控制，且无环境污染。利用这些热源可以直接加热，也可以通过熔融的盐或金，以至浮动粒子进行间接加热。金属加热时，工件暴露在空气中，常常发生氧化、脱碳(即钢铁零件表面碳含量降低)，这对于真空热处理后零件的表面性能有很不利的影响。因而金属通常应在可控气氛或保护气氛中、熔融盐中和真空中加热，也可用涂料或包装方法进行保护加热。

　　2、保温

　　加热温度是真空热处理工艺的重要工艺参数之一，选择和控制加热温度，是保证真空热处理质量的主要问题。加热温度随被处理的金属材料和真空热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温组织。另外转变需要一定的时间，因此当金属工件表面达到要求的加热温度时，还须在此温度保持一定时间，使内外温度一致，使显微组织转变完全，这段时间称为保温时间。采用高能密度加热和表面真空热处理时，加热速度极快，一般就没有保温时间，而化学真空热处理的保温时间往往较长。

　　3、冷却

　　冷却也是真空热处理工艺过程中不可缺少的步骤，冷却方法因工艺不同而不同，主要是控制冷却速度。一般退火的冷却速度较慢，正火的冷却速度较快，淬火的冷却速度更快。但还因钢种不同而有不同的要求，例如空硬钢就可以用正火一样的冷却速度进行淬硬。